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【主要用途】广泛用于高真空和超高真空系统中,用来切断和接通气流。
【结构特点】阀板采用曲臂滚轮轴承移动,运动平稳可靠,。阀板支撑均匀,强度高可反顶大气实现任意方向安装,密封采用不锈钢波纹管密封,密封性可靠,阀体为不锈钢焊接体积小重量轻。
【技术规格】项目内容技术指标漏率
阀体 <10^-8Pa.L/S
阀扳 <5*10^-7Pa.L/S
工作压力范围 1*10^-7Pa-1.0*10^-5Pa
开启时最大压差 <3000Pa
烘烤温度开启<150℃关闭<120℃


