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Swagelok世伟洛克原子层沉积用隔膜阀

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1
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7931181
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Swagelok隔膜阀

 

原子层沉积(ALD)隔膜阀

高速执行下的超高循环寿命

标准流量系数Cv 0.270.62,可提供定制流量系数

耐热执行器,耐温高达200°C (392°F)

电子执行器位置传感选购件

适合采用316L VIM-VAR不锈钢阀体的超高纯应用场合

VCR,卡套管对焊和模块化表面安装端接

常闭和常开气动执行器

两孔口直通和弯曲流动路径结构

两孔口,三孔口和四孔口多孔口阀和多阀阀组

1/4, 3/81/2 in,以及6, 1012mmVCR, HVCR和卡套管对焊端接

订购型号如下:

6LVV-ALD3FR4-P-

6LVV-ALD3VR4-P-

6LVV-ALD3MR4-P-

6LVV-ALD3BW4-P-

6LVV-ALD3BW4S-P-

6LVV-ALD3BW6M-P-

6LVV-ALD3TFR4-P-

6LVV-ALD3TVR4-P-

6LVV-ALD3TMR4-P-

6LVV-ALD3TBW4-P-

6LVV-ALD3TBW4S-P-

6LVV-ALD3TBW6M-P-

6LVV-ALD6FR8-P-

6LVV-ALD6HFR4-P-

6LVV-ALD6HFR4HMR4-P-

6LVV-ALD6MR8-P-

6LVV-ALD6HMR4-P-

6LVV-ALD6BW6-P-

6LVV-ALD6BW8-P-

6LVV-ALD6BW10M-P-

6LVV-ALD6BW12M-P-

 

规格参数
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