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真空阀适用于初步或者前端系统中。大部分应用于连接排气系统,在这过程中有可能会污染到腔体本身。
阀体特殊设计可以更安全,而且当帮浦倒流时可以保护腔体本身。真空隔绝阀本身是使用焊式波纹管,将阀体缩小优化,提供更佳的传导性。
外形:微型
零部件及配件:阀体
用途:调节
标准:GB4982
规格:DN-16,DN-25,DN-40,DN-50
材质:不锈钢
产品名称:挡板阀
工作温度:真空
连接形式:卡套
流动方向:单向
驱动方式:手动
适用介质:真空排气系统,高真空应用的抽气系统,半导体技术,与研究系统等
压力环境:负压
品牌:碟嘉
型号:GD
加工定制:是
本体: 不锈钢304S.S. (可依客户要求提供其它材质)
- 提升锥: 不锈钢304S.S. (可依客户要求提供其它材质)
- 接口端外径: 3/4 ~ 8 英寸
- 软管: (选配)
- 开关指示装置: (选配)
- 电磁阀: (选配)
- 密封: FR O型环
- 漏率: 2×10-9 std.cc./second
- 使用压力范围: 2×10-9 torr 到760 torr
- 最大使用压差: 1.2 Bar
- 作动气压: 4 ~6.5 kg/cm2
- 耐温限制:150°C FR