超高真空插板阀
超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。超高真空插板阀门用于接通或切断真空管路中的气流。超高真空插板阀适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。超高真空插板阀带反馈信号装置。
超高真空插板阀主要零件材料
阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶
超高真空插板阀主要技术性能
适用范围：105~1.3×10-7 Pa
阀门漏率：≤1.3×10-7Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10-7Pa.L/S(DN≤250)
适用温度：30~+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差：≤2.7×103Pa