CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。气动超高真空插板阀适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。气动超高真空插板阀带反馈信号装置。
气动超高真空插板阀系列阀门为气动驱动方式，在结构设计上合理，在外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，能广泛应用于超高真空设备中。真空阀门是以压缩空气推动气缸为动力，通过传动杆推（拉）动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接，完成阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。
气动超高真空插板阀特点
轴封为波纹管密封，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计；
阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；
阀体采用加强筋结构，体积小、重量轻，外形美观；
采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；阀板内整体式结构，支撑力均匀。
超高真空气动插板阀主要零件材料
阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶
气动超高真空插板阀主要技术性能
适用范围： 105~1.3×10-7Pa
阀体和阀座漏率： ≤1.3×10-7Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10-7Pa.L/S(DN≥250)
适用温度： -30~+150℃
阀体烘烤温度：打开时≤200℃；关闭时≤150℃
阀门开启时阀板两侧的压差：≤2.7×103Pa
阀门启闭时间：DN 63~250 ≤6s；DN 320~400 ≤10s
气源压力： DN 63~200：0.4～0.7MPa；DN 250~400：0.5～0.7MPa
阀门位置指示：带有启闭位置指示开关（磁性开关）
安装位置：任意
气动超高真空插板阀外形及连接尺寸(mm)